发明名称 DIELECTRIC FILMS FROM ORGANOHYDRIDOSILOXANE RESINS
摘要
申请公布号 EP1149412(B1) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 EP20000903195 申请日期 2000.01.07
申请人 ALLIEDSIGNAL, INC. 发明人 HACKER, NIGEL, P.;LEFFERTS, SCOTT;SLESSOR, MICHAEL, D.;FIGGE, LISA, K.
分类号 C08G77/12;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 C08G77/12
代理机构 代理人
主权项
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