制备薄膜装置中用的金属平板加热器

摘要

本发明涉及一种制备薄膜用的设备中的加热装置。该金属平板型加热器是由耐高温导电材料做成中间为发热区,两端为加厚的低电阻区,用电极引线夹板把金属箔电极与加热板两端连接,大电流变压器接到控温仪的可控硅输出端,变压器次级输出端接到加热板上,加热电流感应取样线圈或热电偶温度取样接到控温仪信号输入端。本发明抗机械冲击力强,不易损坏。又因采用电极软连接,在高温条件下平板加热器不会变形。

主权项

1．一种制备薄膜的装置中用的金属平板加热器，包括加热板，电极引线，控温仪，电流取样器，热电偶组成，其特征在于还包括一个大电流变压器，和金属平板加热板做成两端厚中间薄的形状，金属箔做的电极由电极引线夹固定在加热板两端；大电流变压器初级接到可控硅输出端，变压器次级接到加热板上，加热电流用感应线圈或热电偶取样，它们通过选取取样种类的转换开关与控温仪取样输入端相连接。