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发明名称 DIFFUSER AND RAPID CYCLE CHAMBER
摘要
申请公布号 EP1374286(B1) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 EP20020759138 申请日期 2002.03.21
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 HALSEY, HARLAN, I.;JACOB, DAVID, E.
分类号 H01L21/00;B05B1/06;B01J3/02;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;C30B35/00;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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