发明名称 Verfahren zum Herstellen von Kontakten mit niedrigem Widerstand zwischen Metallisierungsschichten eines integrierten Schaltkreises und dadurch hergestellte Strukturen
摘要
申请公布号 DE69834868(T2) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 DE1998634868T 申请日期 1998.07.15
申请人 SHARP K.K.;SHARP MICROELETRONICS TECHNOLOGY INC. 发明人 NGUYEN, TUE;HSU, SHENG TENG
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/285;H01L23/522;H01L23/532 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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