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发明名称
Verfahren zum Herstellen von Kontakten mit niedrigem Widerstand zwischen Metallisierungsschichten eines integrierten Schaltkreises und dadurch hergestellte Strukturen
摘要
申请公布号
DE69834868(T2)
申请公布日期
2007.05.16
申请号
DE1998634868T
申请日期
1998.07.15
申请人
SHARP K.K.;SHARP MICROELETRONICS TECHNOLOGY INC.
发明人
NGUYEN, TUE;HSU, SHENG TENG
分类号
H01L21/28;H01L21/768;H01L21/285;H01L23/522;H01L23/532
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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