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发明名称
MIKROELEKTROMECHANISCHES BAUTEIL MIT PIEZOELEKTRISCHEM DÜNNFILMAKTUATOR
摘要
申请公布号
DE60313018(D1)
申请公布日期
2007.05.16
申请号
DE2003613018
申请日期
2003.11.14
申请人
RAYTHEON COMPANY
发明人
PARK, JOON;NAKAHIRA, RON K.;ALLISON, ROBERT C.
分类号
B81B3/00;H01G5/16;H01H57/00;H01L41/09;H01L41/24
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
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