发明名称 MIKROELEKTROMECHANISCHES BAUTEIL MIT PIEZOELEKTRISCHEM DÜNNFILMAKTUATOR
摘要
申请公布号 DE60313018(D1) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 DE2003613018 申请日期 2003.11.14
申请人 RAYTHEON COMPANY 发明人 PARK, JOON;NAKAHIRA, RON K.;ALLISON, ROBERT C.
分类号 B81B3/00;H01G5/16;H01H57/00;H01L41/09;H01L41/24 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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