发明名称 |
石英玻璃坩埚的表面改质方法和表面改质坩埚 |
摘要 |
本发明提供了一种坩埚表面具有含结晶化促进剂的透明涂层的表面改质石英玻璃坩埚和坩埚表面的改质方法。在石英玻璃坩埚表面上,涂布含有金属盐和烷氧硅烷低聚物的部分水解物的混合液,进行烧成,得到表面具有由金属氧化物或金属碳酸盐形成的结晶化促进剂分散在二氧化硅质基体中的透明涂层的、拉制单晶用的石英玻璃坩埚。这种坩埚,由于透明涂层烧成在坩埚上并形成一个整体,所以不能剥离。由于涂层中所含的结晶化促进剂保持均匀的附着状态,所以结晶核均匀地形成在坩埚表面上,从而可达到很高的单晶化率。 |
申请公布号 |
CN1315748C |
申请公布日期 |
2007.05.16 |
申请号 |
CN02154513.8 |
申请日期 |
2002.10.16 |
申请人 |
日本超精石英株式会社 |
发明人 |
辻元俊夫;辻义行 |
分类号 |
C03C17/34(2006.01);C03C17/30(2006.01) |
主分类号 |
C03C17/34(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
曹雯;庞立志 |
主权项 |
1、一种石英玻璃坩埚的表面改质方法,其特征是将含有金属盐和烷氧硅烷低聚物的部分水解物的混合液(以下称为硅溶胶液)涂布在坩埚表面上,将其烧成,形成在二氧化硅质基体中含有来自上述金属盐的结晶化促进剂的透明涂层。 |
地址 |
日本东京都 |