具有可变形弹性体导电元件的微机电开关

摘要

一种具有可变形弹性体元件(1)的微机电开关(MEMS)，该微机电开关以少量的移位表现出导电性方面的大的变化。可变形弹性体元件(1)被通过横向施加的静电力移动，从而产生了小的横向位移。所述横向位移又将金属触点(7)推向两个导电通路(5，6)，从而允许电信号通过。在两个相对侧给弹性体(1)提供了嵌入的金属元件(9，10)，诸如注入的金属棒、金属薄片、金属微粒或者导电膏。驱动电极(18，8)与弹性体的导电侧并行放置。在弹性体的导电侧和相应的驱动电极(18，8)之间施加的电压产生静电吸引力，所述静电吸引力压缩弹性体(1)，从而产生闭合MEMS的横向位移。基于弹性体的MEMS通过延长可变形开关元件的疲劳寿命而延长了开关的寿命。

主权项

1.一种用于断开和闭合导电通路的微机电开关，包括：可变形弹性体元件(1)，具有两个相对的导电侧(9，10)；导体(7)，位于所述可变形弹性体元件(1)的另外一个表面上；以及至少两个驱动电极(18，8)，与所述可变形弹性体元件(1)的所述相对导电侧平行，其中施加在相对导电侧(9，10)中的每一侧与所述两个驱动电极(18，8)中相应的一个之间的电压向着所述驱动电极(18，8)中相应的一个静电地吸引所述相对导电侧(9，10)，从而使得所述可变形弹性体元件(1)伸长，沿远离所述可变形弹性体元件(1)的方向移动所述导体(7)，从而闭合所述微机电开关。