发明名称 METHOD FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11317430(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980124538 申请日期 1998.05.07
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 HIZAKI HIROSHI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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