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发明名称 PLASMA ASHING PROCESS FOR INCREASING PHOTORESIST REMOVAL RATE AND PLASMA APPARATUS WITH COOLING MEANS
摘要
申请公布号 EP1784690(A2) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 EP20050795946 申请日期 2005.09.01
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FERRIS, DAVID;HAMMAR, PHILIP;BECKNELL, ALAN
分类号 H01L21/027;G03F7/42;H01J37/32 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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