一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器

摘要

本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频率范围：2－30kHz，比通常的声学成像模式工作频率(几百kHz－几十MHz)低1－3个数量级，它基于扫描探针声学显微镜(SPAM)的低频高分辨率的工作模式，用该探测器使成像系统分辨率可达到5nm，图像清晰，对比度高。

主权项

1、一种用于扫描探针声学显微成像的低频、收发两用传感器，其特征在于它基于低频高分辨的工作模式，所述的传感器是由高灵敏度传感元件、弹性元件、耦合增强元件，激励电源接口、传感器盖、壳体及绝缘体构成，其中：(1)敏感元件选用收发兼用的高机电耦合系数材料或高压电系数的材料；(2)传感器盖和壳体采用精细螺距螺纹连接；(3)激励电源K通过接口提供幅度和频率连续可精细调节的主输出及其同步信号，幅度为+10V--10V，信号源的工作频率5-100kHz；(4)敏感元件放置在耦合增强元件上，弹性元件放在耦合增强元件下面，敏感元件、耦合增强元件和弹性元件依次放在壳体内通过绝缘体与壳体绝缘。