高纯致密异型钨制品的制备方法

摘要

高纯致密异型钨制品的制备方法，属难熔金属加工领域。目前所用的钨制品均采用粉末冶金的方法制得，无法制备薄壁、复杂形状的钨制品。本发明以铜制作具有所需钨制品形状的仿体；将上述铜仿体表面用有机溶剂洗净、干燥后放入反应室内；以WF₆和高纯H₂为沉积反应气体；沉积反应在常压下进行；沉积反应温度在400℃～800℃，反应气体配比范围为：1L/min H₂流量对应1－5g/min WF₆通入量；控制沉积速度V≈0.5－2mm/h；沉积后关闭气体，继续通入H₂冷却到室温、取出、切割打磨仿体后用硝酸溶解或加热熔化异型仿体。本发明生产效率高、工艺简单、操作方便，获得钨制品纯度高、高致密度、且形状任意、壁厚均匀。

主权项

1、一种高纯致密钨及合金制品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)以铜制作具有所需钨制品形状的仿体；2)将上述铜仿体表面用有机溶剂洗净、干燥后放入反应室内；3)以WF6和高纯H2为沉积反应气体；沉积反应在常压下进行；沉积反应温度在400℃～800℃，反应气体配比范围为：1L/min H2流量对应1-5g/min WF6通入量；通过控制反应气体通入量控制沉积速度V≈0.5-2mm/h；4)沉积后关闭气体，继续通入H2冷却到室温、取出、切割打磨仿体后用硝酸溶解或加热熔化异型仿体。