发明名称 SCHEIBE MIT EINER RÜCKSEITENDICHTUNG AUS ZWEISCHICHT-NIEDRIGTEMPERATUR-OXYD UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE60310100(T2) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 DE20036010100T 申请日期 2003.09.18
申请人 SILTRONIC AG 发明人 LI, JIN-XING;OW, BOON-KOON
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址