发明名称 METHOD FOR INSPECTING THE SURFACE OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20070050803(A) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 KR20060081930 申请日期 2006.08.28
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CORPORATION 发明人 YOUN, SUK WON;LEE, YONG HAN;KIM, DYOUNG SEOK
分类号 G01N21/956;G01N21/88 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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