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发明名称 APPARATUS AND METHOD OF THERMALLY PROCESSING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100717550(B1) 申请公布日期 2007.05.15
申请号 KR20000038557 申请日期 2000.07.06
申请人 发明人
分类号 G01J5/02;H01L21/324;F27D19/00;F27D21/00;G01J5/00;G01J5/08;G01J5/10;H01L21/00;H01L21/205 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
主权项
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