| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR VERMEIDUNG VON KREUZ-KONTAMINATION ZWISCHEN FLÜSSIGKEITSDÜSEN INOBERFLÄCHENNÄHE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT359600(T) |
申请公布日期 |
2007.05.15 |
| 申请号 |
AT20020800444T |
申请日期 |
2002.10.03 |
| 申请人 |
SILICON VALLEY GROUP, INC. |
发明人 |
NGUYEN, ANDREW |
| 分类号 |
G03F7/30;B05B1/14;B05C5/02;B05C11/08;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00;B05C11/02;G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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