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发明名称 WET CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070050224(A) 申请公布日期 2007.05.15
申请号 KR20050107532 申请日期 2005.11.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, YOUNG SHIK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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