| 发明名称 |
MITTELPUNKTBESTIMMUNG VON JUSTIERMARKEN |
| 摘要 |
A rotationally symmetric alignment mark (J) centre (M) determination procedure uses image recognition software to fix the positions of a reference point (R1, R2) in images rotated (JO) through its angle of symmetry one or more times. |
| 申请公布号 |
AT500499(A3) |
申请公布日期 |
2007.05.15 |
| 申请号 |
AT20050001141 |
申请日期 |
2005.07.06 |
| 申请人 |
SUESS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/27;G03F9/00;G06K9/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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