| 主权项 |
1.一种工件夹具装置,其系可应用于一旋转式之乾燥装置中,该工件夹具装置可将一工件握夹于一转子上,以供该转子进行旋转并去除该工件上所附之水分;该工件夹具装置包含:一固持(retainer)机构,其具一配重手段(balance weight),该固持机构系可使该工件被推挤握持于一固定位置,且该配重手段可用以吸收因该转子之旋转作用而产生之离心力,以避免该固持机构因该离心力而松脱固持该工件;以及一环(ring)机构,其系设于一驱动轴与该固持机构之间,该环机构于因应该驱动轴之驱动而带动该固持机构固持该工件时,其可藉由一弹力而使该驱动轴固定于一停止旋转点,俾使该固持机构可确实固持该工件于该固定位置。2.如申请专利范围第1项所述之工件夹具装置,其中该工件系可为一圆板形工件。3.如申请专利范围第1项所述之工件夹具装置,其中该工件系可为一半导体晶圆,抑或为一磁碟基片。4.如申请专利范围第1项所述之工件夹具装置,其中该固持机构系可包含:一轴,设于该旋转式之乾燥装置所具之至少两凸缘之相对应侧边,该轴系可因应该环机构之连动,而进行一顺时或逆时钟方向转动;一旋动臂,具一前端部与一后端部,该旋动臂系枢设于该轴上,且因应该轴之顺时或逆时钟方向转动而连动;以及一工件挡接构件,枢设于该旋动臂之前端部,该工件挡接构件系可因应该旋动臂之连动,以进行松脱或挡接该工件。5.如申请专利范围第4项所述之工件夹具装置,其中该旋动臂之后端部系可为一重量部。6.如申请专利范围第4项所述之工件夹具装置,其中于该轴之端部处可配设一重量构件。7.如申请专利范围第5或第6项中之任一项所述之工件夹具装置,其中该重量部及/或该重量构件系供作该配重手段使用之。8.如申请专利范围第4项所述之工件夹具装置,其中该旋动臂之前端部系可为一薄壁状腕部。9.如申请专利范围第4项所述之工件夹具装置,其中该工件挡接构件系可包含一刻痕,该刻痕系相对应位于该乾燥装置中工件支持台上之刻痕,俾用以共同固持该工件于该固定位置。10.如申请专利范围第1项所述之工件夹具装置,其中该环机构系可包含:一驱动环,设于该驱动轴与一第一插销间;以及一从动环,设于该第一插销与一第二插销间,该从动环可使连接于该第二插销之该固持机构与该驱动环间形成一相互连动且可自由旋转之机构;其中,该第二插销之停止旋转点与该驱动轴之停止旋转点间系可相互构成一直线,而该第一插销则设于略偏移开该直线之位置,藉由该从动环所具之弹力,将可使该驱动轴确实固定于该停止旋转点上。11.如申请专利范围第10项所述之工件夹具装置,其中该略偏移开该直线之位置系指略超越该直线之位置。12.如申请专利范围第11项所述之工件夹具装置,其中该环机构更可包含一停止器,该从动环可藉由其所具之弹力而使该驱动环挡接于该停止器。13.如申请专利范围第10项所述之工件夹具装置,其中该环机构更可包含一连接臂,设于该第二插销与该固持机构之轴间,该连接臂系可因应该从动环,而使该轴进行一顺时或逆时钟方向转动。14.如申请专利范围第13项所述之工件夹具装置,其中该固持机构之旋动臂连接于该第二插销,该旋动臂可因应该轴所进行之顺时或逆时钟方向转动而旋动。图式简单说明:第一图:其系为于旋转式工件乾燥装置中应用本案所示之较佳实施例固持工件之正视示例图;第二图:其系为第一图中本案所示之较佳实施例之细部放大示例图;第三图:其系为与第一图所示固持状态相反之细部放大示例图;以及第四图:其系为于旋转式工件乾燥装置中应用本案所示之较佳实施例固持工件之侧视示例图。 |
