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发明名称
EXZENTRISCH ROTIERENDES BEARBEITUNGSGERÄT FÜR FLACHE MEDIEN
摘要
申请公布号
AT359132(T)
申请公布日期
2007.05.15
申请号
AT19990930500T
申请日期
1999.06.21
申请人
SEMITOOL, INC.
发明人
BEXTEN, DANIEL, P.
分类号
B08B3/04;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/00;B01D33/00
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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