| 主权项 |
1.一种X-Y台,用以移动一定之物体于X方向或Y方向中,以便能检测物体之一定位置者,此X-Y台包含:一X-轴移动板之有一物体夹持装置在其上表面并移动于X-轴方向中;一Y-轴移动板之有此X-轴移动板装载其上,导引此X-轴移动板之X-轴移动并为其本身移动于Y-轴方向中;一固定板之有此Y-轴移动板装载其上,并导引Y-轴移动板之Y-轴移动,其一端系固定于一显微镜之下面部分之底下;一X-轴驱动装置、有皮带沿着X-轴方向伸展,以便能移动此X-轴移动板于X-轴方向中;以及一Y-轴驱动装置,有皮带沿着Y-轴方向伸展,以便能移动此Y-轴移动板于Y轴方向中。2.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中此Y-轴移动板包含两个板,它们系靠近导引X-轴移动板之X-轴移动之X-轴移动板之两边放置,以及此两板之底部系藉横越此X-轴移动板之底部伸展之一Y-轴移动板连接杆而相互连接。3.如申请专利范围第2项之X-Y台,其中一轴承系安装于X-轴移动板和每一Y-轴移动板之间。4.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中此固定板系与连接Y-轴移动板之底部之Y-轴移动板连接杆结合,并导引此Y-轴移动板之Y-轴滑移。5.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中此X-轴驱动装置包含:一X-轴从动滑轮由Y-轴移动板所支承以便可以自由地转动;一X-轴驱动滑轮由Y-轴移动板所支承,以便可以沿着X-轴背离X-轴从动滑轮之一定距离予以自由地转动,并对此X-轴从动滑轮传递此驱动力量;一X-轴皮带伸展于X-轴驱动滑轮和X-轴从动滑轮之间,以便可沿着X-轴方向予以移动,其一端系由一固定在X-轴移动板上之皮带夹持装置选择性地紧握;以及一X-轴控制把手,以被安装在Y-轴移动板上,用以移动此X-轴移动板于X轴方向中,以便能可以自由地转动,并连接至X-轴驱动滑轮以便能转动此X-轴驱动滑轮。6.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中此Y-轴驱动装置包含:两个Y-轴从动滑轮由固定板所支承,以便能以相互背离之一定距离予以自由地转动;一Y-轴皮带伸展于此两个Y-轴从动滑轮之间,以便能沿着Y-轴方向移动,其一端由固定在固定移动板上之一皮带夹持装置选择性地紧握;一Y-轴驱动滑轮由Y-轴移动板所支承以便能予以自由地转动,以及以切线地接触于由皮带夹持装置所紧握之Y-轴皮带之一内面或反面上,此Y-轴驱动滑轮沿着Y-轴皮带之一面转动,并随着Y-轴移动板转移其位置至Y-轴方向;以及一Y-轴控制把手与Y-轴驱动滑轮相连接并转动此Y-轴驱动滑轮。7.如申请专利范围第5项或第6项之X-Y台,其中此固定在X-轴移动板上以及固定在此固定板上之皮带夹持装置分别地包含:一压力应用装置经安装以便可能地分别与X-轴皮带及Y-轴皮带之一部分相接触,以及藉选择性地与此皮带接触而施压一部分之皮带以便能停止各自之皮带之移动;以及一控制装置,用以藉应用控制信号在压力应用装置上而控制此压力应用装置。8.如申请专利范围第7项之X-Y台,其中此压力应用装置包含:一皮带外壳之有皮带穿透通过其间者,藉以容许皮带之可挠性移动;一止动器安装于皮带外壳上,并选择性地与传送通过此皮带壳之皮带之一面接触;以及一弹性构件安装在皮带外壳之内面,并对止动器应用复原力量,因此该止动器朝向此皮带移动。9.如申请专利范围第8项之X-Y台,其中此弹性构件系一线圈弹簧。10.如申请专利范围第7项之X-Y台,其中此控制装置包含一钢丝,以经连接至此止动器而用以选择性地使此止动器退回,以及一钢丝控制装置用以控制钢丝之张力。11.如申请专利范围第10项之X-Y台,其中此钢丝控制装置包含:一钢丝管用以包封此钢丝以便能保护此钢丝,传递钢丝之张力变化至此止动器,并系以有可挠性之材料制成,因此它可伸缩地移动;以及一压条,其一端与钢丝相连接,以及其另一端转动置中一支承点,其中另一端之杠杆作用拉动此钢丝以产生张力。12.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中此X-轴移动板有一操纵杆经突出于其一端上,俾使操作者直接地以其手握持而易于移动此X-轴移动板和Y-轴移动板。13.如申请专利范围第12项之X-Y台,此压条经安装于操纵杆之一边上,当他以高速直接地以操纵杆移动X-轴移动板和Y-轴移动板时,用以提供对X-轴皮带和Y-轴皮带之容易控制,其中此压条拉动连接至该处之钢丝,并应用钢丝之张力在皮带夹持装置上以固定此皮带,以便能使X-轴皮带和Y-轴皮带自由地移动,并抬起在X-轴移动板,Y-轴移动板,及固定板上之皮带夹持装置之结合。14.如申请专利范围第5项之X-Y台,其中此X-轴皮带和X-轴滑轮之组合系定时皮带型。15.如申请专利范围第6项之X-Y台,其中此Y-轴皮带和Y-轴滑轮之组合系定时皮带型。16.如申请专利范围第8项之X-Y台,其中止动器之表面系与定时皮带之凹/凸相符合之凹/凸形态。17.如申请专利范围第5项之X-Y台,其中此X-轴控制把手系以此一方式构造,即此转动轴穿透此Y-轴控制把手作为双控制把手,当一操作者精确地移动一物体至X-轴方向或一Y-轴方向时俾易于操作。18.如申请专利范围第6项之X-Y台,其中此Y-轴控制把手系如此一方式构造,即转动轴穿透此X-轴控制把手作为双控制把手,当一操作者精确地移动一物体至一X-轴方向或至一Y-轴方向时俾易于操作。19.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中此物体夹持装置系一晶片夹持具以真空吸住一晶片,并以水平向地转动此晶片。20.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中一轴承系经安装于X-轴移动板和Y-轴移动板之间俾易于滑动。21.如申请专利范围第1项之X-Y台,其中一轴承系经安装于Y-轴移动板和固定移动板之间俾易于滑动。22.如申请专利范围第1项之X-Y台,易包含一防震装置,它系安装于固定板内并防止振动之不会传递至此物体。23.如申请专利范围第1项之X-Y台,另包含一水平向控制装置,它系安装于固定板内并保持物体之水平向状态。图式简单说明:第一图系一正视图,显示该传统或X-Y台系与一显微镜系统安装;第二图系一平面图,显示第一图之传统式X-Y台之内部结构;第三图系一分解透视图,显示第二图之传统式X-Y台;第四图系一正视图,显示依照本发明之一实施例之与一显微镜系统所安装之X-Y台;第五图系一平面图,显示第四图之X-Y台之内部结构;第六图系一分解透视图,显示第五图之X-Y台;第七图系一侧横截面图,显示第六图之皮带夹持装置;第八图系一侧横截面图,显示第六图之操纵杆;以及第九图系一侧横截面图,显示第六图之双控制把手。 |
