VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS, VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT,申请号AT20040738869T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS, VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT
摘要
申请公布号	AT361427(T)	申请公布日期	2007.05.15
申请号	AT20040738869T	申请日期	2004.07.07
申请人	ROBERT BOSCH GMBH	发明人	FUERTSCH, MATTHIAS;BENZEL, HUBERT;FINKBEINER, STEFAN;PINTER, STEFAN;FISCHER, FRANK;STAHL, HEIKO;PIRK, TJALF
分类号	F04B43/04;(IPC1-7):F04B43/04;F04B19/00	主分类号	F04B43/04
代理机构		代理人
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