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发明名称 SYSTEM UND VERFAHREN FÜR VERGRABENE ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN IN EINEM GLAS-SILIZIUM-MEMS- PROZESS
摘要
申请公布号 AT360598(T) 申请公布日期 2007.05.15
申请号 AT20040719227T 申请日期 2004.03.10
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 HORNING, ROBERT, D.;RIDLEY, JEFFREY, A.
分类号 B81B7/00;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
主权项
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