| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG POLYMERISIERTEN TEOS-AUFBAU IN VAKUUMPUMPLINIEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT360105(T) |
申请公布日期 |
2007.05.15 |
| 申请号 |
AT20000921335T |
申请日期 |
2000.02.18 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
DOZORETZ, PAUL;GU, YOUFAN |
| 分类号 |
B01D5/00;C23C16/44;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/00;C23C16/40 |
主分类号 |
B01D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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