| 发明名称 |
Apparaat en werkwijze voor het testen van een belichtingsinrichting. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1026584(C2) |
申请公布日期 |
2007.05.15 |
| 申请号 |
NL20041026584 |
申请日期 |
2004.07.06 |
| 申请人 |
POWERCHIP SEMICONDUCTOR CORP. |
发明人 |
HUNG-CHI WANG;CHUNG-MING KUO |
| 分类号 |
G03F7/20;G01M11/02;G03B27/68;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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