发明名称 热处理系统
摘要 本发明之热风加热式热处理系统之热处理装置(2,102),系于加热室(13,113)内产生热风,将架(15,115)所支持的复数片板状被处理物(3,103)予以加热,使该架(15,115)在加热室(13,113)与冷却室(14,114)之间往返移动,且具有该加热室(13,113)与冷却室(14,114)之连接口(12a,112a)的开闭机构(51,151)。设有除尘用过滤器(17,117),使该热风通过。由架(15,115)所支持的板状被处理物(3,103)可在该冷却室(14,114)放置冷却,且具备将该板状被处理物(3,103)中以强制空气冷却的机构。
申请公布号 TW412807 申请公布日期 2000.11.21
申请号 TW088106531 申请日期 1999.04.23
申请人 光洋热系统股份有限公司 发明人 河本浩
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种热处理系统,其特征在于:具备热风加热式热处理装置,其具有:加热室;冷却室;其通至该加热室;架,其支持复数片的板状被处理物;热风产生机构,其在该加热室中,将架所支持的板状被处理物予以加热;除尘用过滤器,其使该热风通过;架往复移动机构,其使该架在加热室与冷却室之间往复移动;及连接口之开闭机构,其系该加热室与冷却室之连接口的开闭机构;其具备强制空气冷却机构,在前述冷却室中,可将架所支持之板状被处理物放置冷却,且将板状被处理物予以强制空气冷却。2.如申请专利范围第1项之热处理系统,其具备复数个前述热风加热式热处理装置;具备单一的搬送装置;该搬送装置具有装卸机构,其系将板状被处理物装入冷却室内的架上予以支持,除此之外,并将冷却室内之架所支持的板状被处理物予以取出者。3.如申请专利范围第1或2项之热处理系统,其中前述加热室与冷却室系以上下配列之方式配置。
地址 日本