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发明名称 METHOD FOR FORMING A METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100720526(B1) 申请公布日期 2007.05.15
申请号 KR20050132680 申请日期 2005.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JOO, SUNG JOONG
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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