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发明名称 METHOD OF DEPOSITING CAPACITOR ELECTRODE ADDING TRANSITION METAL
摘要
申请公布号 KR100719805(B1) 申请公布日期 2007.05.14
申请号 KR20050135610 申请日期 2005.12.30
申请人 INTEGRATED PROCESS SYSTEMS LTD. 发明人 KANG, HYUN SUK;LEE, KI HOON;KIM, SOO HYUN;LEE, SAHNG KYOO;SEO, TAE WOOK;CHANG, HO SEUNG
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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