发明名称 SPINDLE ASSEMBLY FOR FORCE CONTROLLED POLISHING
摘要
申请公布号 KR100717477(B1) 申请公布日期 2007.05.14
申请号 KR20027002464 申请日期 2002.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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