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发明名称
高耦合比记忆体之构造
摘要
一种记忆体之构造,包括提供一基底,该基底上已具有有一第一介电层与一图案化之第一罩幕层,一第一导体层具有于该第一介电层之上,一第二导体层具有于该第一导体层之上,并填满该些隔离结构间之空隙,有一图案化之一第二罩幕层于该第二导体层之上,以具有多个凹突形状,具有一第二介电层于该基底表面,以及具有一第三导体层于该第二介电层之上。
申请公布号
TWM312010
申请公布日期
2007.05.11
申请号
TW095211637
申请日期
2006.07.03
申请人
廖柏东
发明人
廖柏东
分类号
H01L21/8247(2006.01)
主分类号
H01L21/8247(2006.01)
代理机构
代理人
主权项
1.一种记忆体之构造,包括: 提供一基底,该基底上已具有有一第一介电层与一 图案化之第一罩幕层; 一第一导体层具有于该第一介电层之上; 一第二导体层具有于该第一导体层之上,并填满该 些隔离结构间之空隙; 具有有一图案化之一第二罩幕层于该第二导体层 之上; 以具有多个凹突形状; 具有一第二介电层于该基底表面;以及 具有一第三导体层于该第二介电层之上。 图式简单说明: 图1A是绘示之本创作一实施例之非挥发性记忆体 的制造流程剖面图。
地址
新竹市光复路1段403巷8弄8之1号5楼
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