| 主权项 |
1.一种运送物浮起单元,系具备用来从设置于一主 面侧之喷出口喷出空气之喷出流路、与用来由设 置于一主面侧的吸引口吸引空气之吸引流路的运 送物浮起单元,其特征为: 前述喷出流路系具有流路断面积不连续地改变之 部分。 2.如申请专利范围第1项之运送物浮起单元,其中前 述喷出流路系具有小流路、与流路断面积较小流 路更大之大流路。 3.如申请专利范围第2项之运送物浮起单元,其中前 述喷出流路系将复数个前述小流路与复数个前述 大流路交互地配置而构成。 4.如申请专利范围第3项之运送物浮起单元,其中前 述喷出流路系沿着前述一主面的方向延伸。 5.如申请专利范围第4项之运送物浮起单元,其中前 述喷出流路系具有屈曲成大致呈直角之屈曲部,在 该屈曲部设置前述大流路。 6.如申请专利范围第3至5项中任一项之运送物浮起 单元,其中前述吸引流路系沿着与前述一主面大致 正交之方向延伸,除了前述吸引流路以外之部分, 实质上受到前述喷出流路所占据。 7.如申请专利范围第3至5项中任一项之运送物浮起 单元,其中在与前述一主面相对向之其他主面上, 设置复数个用来将空气导入到前述喷出流路之导 入口, 复数个前述导入口在不同的位置连通于前述喷出 流路。 8.如申请专利范围第3项之运送物浮起单元,其中前 述复数个大流路之至少其中任一流路,其内壁面构 成立方体或长方体,进入侧与出去侧的前述小流路 系分别连接于该大流路的相互对向之第1及第2内 壁面, 进入侧的前述小流路连接于前述第1内壁面之一角 部,出去侧的前述小流路连接于位于距离上述一角 部最远的位置之前述第2内壁面之一角部。 9.如申请专利范围第3或8项之运送物浮起单元,其 中前述复数个大流路之至少其中任一流路,其内壁 面构成立方体或长方体,进入侧与出去侧的前述小 流路系分别连接于该大流路的相互邻接之第1及第 2内壁面, 进入侧及出去侧中的其中一方的前述小流路连接 于第1内壁面之一角部,而与前述一方不同之另一 方的前述小流路连接于在前述第1内壁面上位于前 述一角部的对角线上之角部以及形成一顶部之前 述第2内壁面的一角部。 10.如申请专利范围第3或8项之运送物浮起单元,其 中前述复数个大流路之至少其中任一流路,其内壁 面构成立方体或长方体,进入侧与出去侧的前述小 流路系分别连接于该大流路的相互邻接之第1及第 2内壁面, 进入侧及出去侧中的其中一方的前述小流路连接 于前述第1内壁面之中央部,与前述其中一方不同 之另一方的前述小流路连接于位于距离前述其中 一方的小流路的连接位置之最远的位置之前述第2 内壁面之一角部。 11.一种运送物浮起装置,其特征为:具备有复数个 如申请专利范围第1项至第10项中任一项之运送物 浮起单元, 复数个前述运送物浮起单元系积层于与前述一主 面垂直之方向。 12.一种运送物浮起装置,其特征为: 具备复数个如申请专利范围第1项至第10项中任一 项所述之运送物浮起单元, 复数个前述运送物浮起单元系在沿着前述一主面 的方向配置成2次元状。 13.如申请专利范围第12项之运送物浮起装置,其中 具备具有复数个贯通孔之平台, 前述平台被载置于配置成2次元状之复数个前述运 送物浮起单元的前述一主面上,前述复数个贯通孔 气密地连通于前述喷出口及前述吸引口。 14.一种载台装置,其特征为: 具备:如申请专利范围第12或13项之运送物浮起装 置、及 把持运送物,使其通过前述运送物浮起装置上之运 送装置。 图式简单说明: 图1系显示实施形态之基板检查系统的结构之斜视 图。 图2系显示实施形态之基板检查系统的结构之平面 图(高架以虚线显示)。 图3系显示运送装置的结构之部分放大图。 图4(a)(b)系显示基板浮起单元之结构图。 图5系用来说明针对基板浮起装置所具有的底板之 复数个孔,吸引用的贯通孔(以白圈显示)与喷出用 的贯通孔(以黑圈显示)排列成2次元状之状态的图 。 图6系显示基板浮起装置的底板与基板浮起单元之 配置关系的断面图。 图7(a)(b)(c)系显示基板浮起单元的变形例之图。 图8(a)(b)系显示基板浮起单元的其他变形例之图。 图9系作为基板浮起单元的其他变形例,仅将喷出 流路及吸引流路取出加以显示之斜视图。 图10系针对图9所示的变形例,仅将喷出流路及吸引 流路取出加以显示之平面图、侧面图、及A-A线至E -E线箭号图。 图11(a)(b)系显示大流路与小流路的一个连接形态 之斜视图。 图12(a)(b)系显示大流路与小流路的其他一个连接 形态之斜视图。 图13系显示大流路与小流路的其他一个连接形态 之斜视图。 图14系显示作为大流路与小流路的比较例之连接 形态的斜视图。 |
