发明名称 印刷电路板、探针卡,及探针卡组之制造方法
摘要 本发明系提供一种利用单一探针卡以测试复数个积体电路装置设计之有效且易于制造的方法。一通用探针卡之设计在此处揭露,用以测试复数个晶圆级积体电路装置。积体电路的探针焊垫与探针卡的探针I/O接脚系于基板之一区域上设计为网状型样。接地端环绕该I/O接脚所在区域,并且复数个电源端系提供于该基板上。该等I/O端系具有一固定或可变动间距之阵列。该探针卡可供一系列的积体电路装置使用。本发明亦揭露一种利用通用探针卡以测试覆晶积体电路之方法,用以减低探针卡激增及制造成本。
申请公布号 TWI281033 申请公布日期 2007.05.11
申请号 TW094134200 申请日期 2005.09.30
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 许明正
分类号 G01R31/02(2006.01) 主分类号 G01R31/02(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种探针卡,包括: 一印刷电路板; 复数个I/O端位于一第一区域内; 一接地端位于一第二区域内,其中该第二区域系至 少部分围绕于该第一区域;以及 复数个电源端位于一第三区域内,其中该第三区域 至少部分围绕于该第二区域。 2.如申请专利范围第1项所述之探针卡,其中该复数 个电源端当中至少一个为一长方形焊垫。 3.如申请专利范围第1项所述之探针卡,其中该复数 个I/O端系安排成为一网状结构。 4.如申请专利范围第1项所述之探针卡,其中该接地 端大体上系长方形。 5.如申请专利范围第1项所述之探针卡,其中该复数 个I/O端系根据一预设组态以互相连接。 6.一种印刷电路板,其中该印刷电路板系与一探针 卡共用,包括: 一基板,具有复数个I/O端形成于其上; 一接地端,形成于该基板上,用以提供地电位之传 达;以及 复数个电源埠,用以传达电源至该印刷电路板; 其中该复数个I/O端定义出一网状区域,并且该网状 区域系受该接地端包住。 7.如申请专利范围第6项所述之印刷电路板,其中该 复数个I/O端更包括一布线型样。 8.如申请专利范围第6项所述之印刷电路板,其中该 复数个I/O端系根据一布线型样加以安排。 9.如申请专利范围第6项所述之印刷电路板,其中该 复数个I/O端当中每一个I/O端更包括一接触点。 10.一种探针卡,具有如申请专利范围第6项所述之 印刷电路板。 11.一种探针卡组之制造方法,包括: 提供一第一区域于一基板上,该第一区域具有复数 个I/O端,该等I/O端当中每一I/O端之表面具有一接触 点; 形成一接地端区域于该第一区域之周围,该接地端 区域至少部分包围该第一区域并允许该探针卡接 地;以及 形成复数个电源通道,以传达电源至该探针卡组; 其中该等电源通道系形成为长方形焊垫于该基板 上。 12.如申请专利范围第11项所述之探针卡组之制造 方法,其中该等I/O端系利用一非长方形布线型样加 以装配。 13.如申请专利范围第11项所述之探针卡组之制造 方法,其中该等电源通道定义出一包围该等I/O端之 基板区域。 14.如申请专利范围第11项所述之探针卡组之制造 方法,其中该接地端系在该基板上定义出一第二区 域。 15.如申请专利范围第14项所述之探针卡组之制造 方法,其中该第二区域至少部分围绕于该第一区域 之周围。 16.如申请专利范围第14项所述之探针卡组之制造 方法,其中该第二区域围绕于该第一区域之周围。 17.如申请专利范围第16项所述之探针卡组之制造 方法,其中该电源通道于该基板上定义出一第三区 域,该第三区域包住该第二区域。 18.如申请专利范围第11项所述之探针卡组之制造 方法,其中该复数个I/O端系定义出一网状型样。 19.一种探针卡,其系根据申请专利范围第11项所述 之探针卡组之制造方法来制造。 20.一种探针卡,包括: 一印刷电路板; 一接地端; 复数个电源端;以及 一区域,包括复数个I/O端,其中该复数个I/O端系装 配为能广泛相容于该MLC之布局组态。 21.如申请专利范围第20项所述之探针卡,其中该包 括该复数个I/O端之区域系定义一具有1024个I/O接脚 之网状区域。 22.如申请专利范围第20项所述之探针卡,其中该包 括该复数个I/O端之区域定一出一具有768个、512个 、384个或192个I/O接脚之网状区域。 图式简单说明: 第1图显示一用作测试积体电路装置之自动化测试 系统; 第2与3图显示一探针卡和一积体电路装置之俯视 图与剖面图; 第4图显示一积体电路覆晶装置; 第5图显示一垂直探针卡之剖面图; 第6A至6D图显示一种与一Cobra垂直探针卡共用之 示范性PCB设计; 第7A至7D图显示另一种与一Cobra垂直探针卡共用 之示范性PCB设计; 第8A与8B图显示根据本揭露之一示范性实施例之一 探针卡之PCB设计; 第9A至9D图显示根据本揭露之一示范性实施例之一 通用设计。
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