研磨垫

摘要

一种研磨垫，其包括一位于非研磨表面内之凹处部分。该研磨垫能够使物品将被研磨之表面免于划伤。

主权项

1.一种用于化学机械研磨之研磨垫,其具有一研磨 表面和一非研磨表面,并包括一开口于非研磨表面 之凹槽部分。 2.根据请求项1之研磨垫,其中该凹槽部分系位于该 非研磨表面之中心部分。 3.根据请求项1或2之研磨垫,其中该凹槽部分之开 口为圆形或多边形。 4.根据请求项1或2之研磨垫,其包括一不溶于水之 基质与分散于该不溶于水之基质内之水溶粒子。 5.根据请求项3之研磨垫,其包括一不溶于水之基质 与分散于该不溶于水之基质内之水溶粒子。