发明名称 多晶片堆叠之封装方法及其封装结构
摘要 一种多晶片堆叠之封装结构,其包括:一基板、至少一第一晶片、及至少一第二晶片。该基板系具有一介电层、一金属层及一焊罩层,其中该金属层系包括分别形成于该介电层上端之一导电迹线区及一遮蔽区,该焊罩层系形成于该金属层之导电迹线区上。该第一、二晶片系分别电性连接于该导电迹线区,并分别设置于该焊罩层上,其中该第一晶片之封装体系连接于该金属层之一表面,以使得该第一晶片位于该焊罩层与该金属层之遮蔽区之间;而该第二晶片之封装体系连接于该金属层之另一表面,以使得该第二晶片位于该焊罩层与该金属层之遮蔽区之间。
申请公布号 TWI281236 申请公布日期 2007.05.11
申请号 TW094144837 申请日期 2005.12.16
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 胡嘉杰
分类号 H01L23/28(2006.01);H01L25/10(2006.01) 主分类号 H01L23/28(2006.01)
代理机构 代理人 谢宗颖 台北市大安区敦化南路2段71号18楼;王云平 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项 1.一种多晶片堆叠之封装方法,其步骤包括: 提供一介电层(dielectric layer); 形成一金属层(metal layer)于该介电层上,其中该金 属层系包括一导电迹线区(conducting trace area)及一 遮蔽区(shielding area); 形成一焊罩层(solder mask)于该金属层之导电迹线区 上; 藉由封装胶以封装至少一第一晶片及至少一第二 晶片于该焊罩层上,以形成第一晶片之封装体及第 二晶片之封装体,并使该等晶片与该导电迹线区达 成电性连接;以及 弯折该介电层及该金属层,使该金属层之遮蔽区表 面及介电层表面分别连接于该第一晶片之封装体 及该第二晶片之封装体。 2.如申请专利范围第1项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该第一晶片系为一基频晶片(base band chip )及该第二晶片系为一射频晶片(RF chip);或是,该第 一晶片系为一射频晶片(RF chip)及该第二晶片系为 一基频晶片(base band chip)。 3.如申请专利范围第1项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该介电层于其上系形成有复数个穿孔( via hole),并且该等穿孔内系形成有相对应之锡焊。 4.如申请专利范围第3项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该金属层系包括:复数个形成于该导电 迹线区之焊垫、及复数个分别电性连接于相对应 之该等焊垫及该等锡焊之间之导电迹线;藉此,该 第一晶片与该第二晶片皆透过该等焊垫及该等导 电迹线,以电性连接于该等锡焊。 5.如申请专利范围第1项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该介电层系为一可挠性(flexible)之PI基板 (polyimide substrate)。 6.如申请专利范围第5项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该PI基板系依据布线时之电性要求,以选 择该导电迹线区为单层或双层。 7.如申请专利范围第1项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该介电层与该遮蔽层系藉由黏着剂分别 与该第一晶片之封装体及该第二晶片之封装体达 成连接效果。 8.如申请专利范围第7项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中该黏着剂系为导电接着胶(conductive adhesive)。 9.如申请专利范围第1项所述之多晶片堆叠之封装 方法,其中封装该第一晶片或第二晶片的方式系包 括有:打线(wire bonding)、覆晶(Flip chip)或四方扁平 无引脚封装(QFN)。 10.一种多晶片堆叠之封装方法,其步骤包括: 提供一介电层(dielectric layer); 形成一金属层(metal layer)于该介电层上,其中该金 属层系包括一导电迹线区(conducting trace area)及一 遮蔽区(shielding area); 形成一焊罩层(solder mask)于该金属层之导电迹线区 上; 藉由封装胶以封装至少一第一晶片及至少一第二 晶片于该焊罩层上,以形成第一晶片之封装体及第 二晶片之封装体,并使该等晶片与该导电迹线区达 成电性连接; 移除该遮蔽区下方之介电层;以及 弯折该介电层及该金属层,使该金属层之遮蔽区的 两表面分别连接于该第一晶片之封装体及该第二 晶片之封装体。 11.一种多晶片堆叠之封装结构,其包括: 一基板,其具有一介电层(dielectric layer)、一金属层 (metal layer)及一焊罩层(solder mask),其中该金属层系 包括分别形成于该介电层上端之一导电迹线区( conducting trace area)及一遮蔽区(shielding area),并且该 焊罩层系形成于该金属层之导电迹线区上; 至少一具有封装体之第一晶片,其电性连接于该导 电迹线区,其中该第一晶片系设置于该焊罩层上, 并且该第一晶片之封装体系连接于该金属层之一 表面,使该第一晶片位于该焊罩层与该金属层之遮 蔽区之间;以及 至少一具有封装体之第二晶片,其电性连接于该导 电迹线区,其中该第二晶片系设置于该焊罩层上, 且该第二晶片之封装体系连接于该金属层之另一 表面,使该第二晶片位于该焊罩层与该金属层之遮 蔽区之间。 12.如申请专利范围第11项所述之多晶片堆叠之封 装方法,其中该第一晶片系为一基频晶片(base band chip)及该第二晶片系为一射频晶片(RF chip);或是,该 第一晶片系为一射频晶片(RF chip)及该第二晶片系 为一基频晶片(base band chip)。 13.如申请专利范围第11项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中该介电层于其上系形成有复数个穿孔 (via hole),并且该等穿孔内系形成有相对应之锡焊 。 14.如申请专利范围第13项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中该金属层系包括:复数个形成于该导 电迹线区之焊垫、及复数个分别电性连接于相对 应之该等焊垫及该等锡焊之间之导电迹线;藉此, 该第一晶片与该第二晶片皆透过该等焊垫及该等 导电迹线,以电性连接于该等锡焊。 15.如申请专利范围第11项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中该介电层系为一可挠性(flexible)之PI基 板(polyimide substrate)。 16.如申请专利范围第15项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中该PI基板系依据布线时之电性要求,以 选择该导电迹线区为单层或双层。 17.如申请专利范围第11项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中该介电层与该遮蔽层系藉由黏着剂分 别与该第一晶片之封装体或该第二晶片之封装体 达成连接效果。 18.如申请专利范围第17项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中该黏着剂系为导电接着胶(conductive adhesive)。 19.如申请专利范围第11项所述之多晶片堆叠之封 装结构,其中封装该基频晶片或射频晶片的方式系 包括有:打线(wire bonding)、覆晶(Flip chip)或四方扁 平无引脚封装(QFN)。 20.一种多晶片堆叠之封装结构,其包括: 一基板,其具有一介电层(dielectric layer)、一金属层 (metal layer)及一焊罩层(solder mask),其中该金属层系 包括一形成于该介电层上之导电迹线区(conducting trace area)、及一从该导电迹线区向外延伸而出之 遮蔽区(shielding area),并且该焊罩层系形成于该金 属层之导电迹线区上; 至少一具有封装体之第一晶片,其电性连接于该导 电迹线区,其中该第一晶片系设置于该焊罩层上, 并且该第一晶片之封装体系连接于该介电层之一 表面,使该第一晶片位于该焊罩层与该介电层之间 ;以及 至少一具有封装体之第二晶片,其电性连接于该导 电迹线区,其中该第二晶片系设置于该焊罩层上, 且该第二晶片之封装体系连接于该金属层之遮蔽 区之表面,使该第二晶片位于该焊罩层与该金属层 之遮蔽区之间。 图式简单说明: 第一图系本发明基频与射频晶片堆叠之封装方法 之第一实施例之流程图; 第二图系本发明基频与射频晶片堆叠之封装结构 之第一实施例之介电层与金属层弯折前之剖面示 意图; 第三图系本发明基频与射频晶片堆叠之封装结构 之第一实施例之介电层与金属层弯折后之剖面示 意图; 第四图系本发明之金属层形成于介电层后之上视 示意图; 第五图系本发明基频与射频晶片堆叠之封装方法 之第二实施例之流程图; 第六图系本发明基频与射频晶片堆叠之封装结构 之第二实施例之介电层与金属层弯折前之剖面示 意图;以及 第七图系本发明基频与射频晶片堆叠之封装结构 之第二实施例之介电层与金属层弯折后之剖面示 意图。
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