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发明名称 ATMOSPHERE REPLACEMENT PORT CONNECTING DEVICE FOR SUBSTRATE STORAGE VESSELS
摘要
申请公布号 KR20070049600(A) 申请公布日期 2007.05.11
申请号 KR20067020619 申请日期 2006.10.02
申请人 RIGHT MFG, CO., LTD. 发明人 NAGATA TATSUHIKO;YOSHIMURA TAKEHIKO
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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