发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITION ORGANIC COMPOUNDS
摘要
申请公布号 KR20070048931(A) 申请公布日期 2007.05.10
申请号 KR20050106023 申请日期 2005.11.07
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 NO, IL HO;CHOI, SUK MIN;JOUNG, YOUNG CHUL
分类号 C23C14/12 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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