发明名称 Testsystem zum Testen von integrierten Bausteinen
摘要
申请公布号 DE10326317(B4) 申请公布日期 2007.05.10
申请号 DE20031026317 申请日期 2003.06.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WEBER, FRANK;FRANKOWSKY, GERD
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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