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经营范围
发明名称
Testsystem zum Testen von integrierten Bausteinen
摘要
申请公布号
DE10326317(B4)
申请公布日期
2007.05.10
申请号
DE20031026317
申请日期
2003.06.11
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
WEBER, FRANK;FRANKOWSKY, GERD
分类号
G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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