发明名称 |
Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung |
摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position zweier Objekte, die in mindestens einer Messrichtung zueinander beweglich angeordnet sind; ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betrieb einer derartigen Positionsmesseinrichtung. Die Positionsmesseinrichtung umfasst eine Maßverkörperung sowie Abtastmittel mit einer Lichtquelle und ein oder mehrere optische und/oder optoelektronische Bauelemente zur Erzeugung verschiebungsabhängiger Positionssignale. Als Lichtquelle ist ein Halbleiterlaser mit großer Kohärenzlänge vorgesehen, der gepulst in einem Single-Mode-Betrieb betrieben wird (Figur 1).
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申请公布号 |
DE102006041357(A1) |
申请公布日期 |
2007.05.10 |
申请号 |
DE200610041357 |
申请日期 |
2006.09.01 |
申请人 |
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH |
发明人 |
MEISNER, MARKUS;DRESCHER, JOERG |
分类号 |
G01B11/00;G01D5/38 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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