发明名称 SILICON CARBIDE EPITAXIAL LAYERS GROWN ON SUBSTRATES OFFCUT TOWARDS ???????
摘要
申请公布号 KR100716522(B1) 申请公布日期 2007.05.10
申请号 KR20017016473 申请日期 2001.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址