真空承载设备

摘要

本发明公开了一种真空承载设备，包含一真空承载平台、一传输管路、一真空槽、一储水槽与至少一阀门。真空承载平台具有通孔，传输管路的第一端连接至通孔，第二端连接至真空泵，第三端连接至去离子水源。真空槽连接于第一端与第二端之间，而储水槽则连接于第一端与第三端之间。阀门用以控制真空槽与第一端或储水槽与第一端的启闭。

主权项

1、一种真空承载设备，用以承载与固定一基板，并与一真空泵及一去离子水源连接，其特征在于，包含有：一真空承载平台，具有数个通孔；一传输管路，包含有一第一端、一第二端以及一第三端，该第一端连接至该真空承载平台的该通孔，该第二端连接至该真空泵，该第三端连接至该去离子水源；一真空槽，连接于该传输管路的该第一端与该第二端之间；一储水槽，连接于该传输管路的该第一端与该第三端之间；以及至少一阀门，连接于该第一端、该真空槽与该储水槽之间，借以控制该真空槽与该第一端或该储水槽与该第一端的启闭状态。