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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070048492(A) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 KR20050105626 申请日期 2005.11.04
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 PARK, CHAN HO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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