柔性静电激励器

摘要

一种静电激励器，其具有包括第一电极(20)的基部(10)，并且具有柔性膜(50)，该柔性膜包括至少两个彼此相接触的不同材料的材料层。至少一个材料层包括与第一电极电隔离的第二电极(40)。该柔性膜包括：固定端部，柔性膜在固定端部处连接到基部；和与固定端部相反的自由端部。在柔性膜中，第二电极至少具有由第三部分分隔开的第一和第二部分，并且第一和第二部分一起限定出设在固定端部附近的台阶。第一台阶最靠近固定端部，并且与第二部分相比以更短的距离与第一电极分隔开。增强件(310)可以布置在柔性膜上，朝向柔性膜的自由端部。静电激励器可以包括延伸贯穿基部并且沿着远离固定端部的方向延伸的细长孔(420，320)。基部的第一电极可以在被限定为朝着固定端部的方向上延伸过柔性膜的第二电极的一端。柔性膜可以包括构造为与柔性膜内部相通的周边或侧面切口。

主权项

1.一种静电激励器，包括：包括第一电极的基部；柔性膜，其包括至少两个彼此相接触的不同材料的材料层，至少一个材料层包括与第一电极电隔离的第二电极；该柔性膜包括，连接到基部的固定端部，和与固定端部相反的且与基部间隔开的自由端部；柔性膜的所述自由端部构成为在静电力下相对于基部移动；并且所述第二电极至少具有由第三部分分隔开的第一和第二部分，并且该第一和第二部分一起限定出设在所述固定端部附近的台阶，所述第一台阶最靠近固定端部，并且与所述第二部分相比以更短的距离与所述第一电极分隔开。