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发明名称 BACKSIDE DEPOSITION FOR RELIEVING STRESS AND DECREASING WARPING IN OPTICAL WAVEGUIDE PRODUCTION
摘要
申请公布号 EP1782112(A1) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 EP20050800704 申请日期 2005.07.07
申请人 BAE SYSTEMS INFORMATION AND ELECTRONIC SYSTEMS INTEGRATION INC. 发明人 CONWAY, TIMOTHY, J.;MCINTYRE, THOMAS, J.;POMERENE, ANDREW, TS
分类号 G02B6/132;G02B6/12 主分类号 G02B6/132
代理机构 代理人
主权项
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