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发明名称 PERIPHERAL EXPOSURE APPARATUS OF IRRADIATING LASER BEAM AND ULTRAVIOLET RAYS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070048612(A) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 KR20060108023 申请日期 2006.11.02
申请人 ORC MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 KENMOTSU HARUYASU;SATO HIROAKI;IKEDA YASUHITO;MORI MASATO
分类号 G03F7/20;G02F1/13 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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