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发明名称 SYSTEM AND METHOD OF CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1782461(A2) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 EP20050762857 申请日期 2005.06.23
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KOROLIK, MIKHAIL;BOYD, JOHN M.;MIKHAYLICH, KATRINA;RAVKIN, MICHAEL;REDEKER, FRED, C.;DE LARIOS, JOHN, M.
分类号 H01L21/461;B08B7/04;C23C14/00;H01L27/01 主分类号 H01L21/461
代理机构 代理人
主权项
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