利用扫描探针显微镜针尖的方法及其产品或产品的制作方法

摘要

本发明涉及一种“蘸水笔”纳米蚀刻技术(DPN)的蚀刻方法。DPN利用扫描探针显微镜(SPM)针尖(例如，原子力显微镜(AFM)针尖)作为”笔”，一个固体基质(例如，金)作为”纸”，以及对固体基质有化学亲和力的分子作为”墨水”。DPN将分子从SPM针尖毛细传输至固体基质上，直接书写亚微米尺度的包含一组分子的图形，这也使得DPN在加工各种微米和纳米尺度的装置中非常有用。本发明还提供了经DPN绘制的基质，包括亚微米组合阵列，配件、装置和操作DPN的软件。本发明又进一步提供了在空气中使用AFM成像的方法。该方法包括用一种疏水化合物涂复AFM针尖，疏水化合物是经过选择的，使得用涂复的AFM针尖绘制的AFM图象比用未涂复的AFM针尖绘制的AFM图象有改善。最后，本发明提供了涂复疏水化合物的AFM针尖。

主权项

1.一种纳米蚀刻方法，包括：提供一个基质；提供多-扫描探针显微镜针尖；其中多个针尖包括一个图象针尖和至少一个书写针尖；以一种图形化合物或多种图形化合物涂复针尖；使用涂复的针尖将化合物穿送到基质上，得到一组所希望的图形，其中每一个书写针尖产生和图象针尖一样的图形。