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发明名称 DEVICE FOR LOADING AND UNLOADING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1214733(B1) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 EP20000966057 申请日期 2000.09.20
申请人 HAMATECH AG 发明人 WEBER, KLAUS;SAEMANN, MARTIN;KALLIS, JUERGEN
分类号 H01L21/00;B65G49/07;G11B23/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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