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发明名称 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070048479(A) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 KR20050105607 申请日期 2005.11.04
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 KIM, IN JUN;KIM, HYUNG JOON;JOUNG, YOUNG CHUL
分类号 H05H1/34 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
主权项
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