发明名称 METHOD FOR FABRICATING CRYSTALLINE SILICON
摘要 The present invention provides methods of manufacturing of silicon in substantially crystalline form out of amorphous silicon.
申请公布号 EP1782459(A2) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 EP20040810047 申请日期 2004.10.26
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 RICHARDSON, CHRISTINE, E.;ATWATER, HARRY, A.
分类号 H01L21/335;H01L21/00;H01L21/12;H01L21/36;H01L21/76;H01L21/84 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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