Ion implantation apparatus,申请号EP20000303233-传众专利搜索

发明名称	Ion implantation apparatus
摘要
申请公布号	EP1056114(A3)	申请公布日期	2007.05.09
申请号	EP20000303233	申请日期	2000.04.17
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	WOOD, PETER;COOKE, RICHARD;ADLAM, ANTHONY
分类号	C23C14/48;H01J37/317;H01J37/20;H01L21/265	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
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