基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置

摘要

本发明公开了一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置。包括激光器的激光依次经准直透镜、光阑、被测物体反射后至聚焦透镜后接线阵型电荷耦合器件，经线阵型电荷耦合器件的输出端口与实时信号处理电路的输入端口相连。它采用平行光斜射式激光三角法、非CPU结构的实时信号处理电路和高速线阵型CCD。本发明具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点，可应用于高频电—机械转换器等元件的微小角位移的静动态特性的在线或离线检测。

主权项

1、一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置，包括激光器(4)、准直透镜(3)、光阑(2)、聚焦透镜(5)、线阵型电荷耦合器件(6)和实时信号处理电路(7)；激光器(4)的激光依次经准直透镜(3)、光阑(2)、被测物体(1)反射后至聚焦透镜(5)后接线阵型电荷耦合器件(6)，经线阵型电荷耦合器件(6)的输出端口与实时信号处理电路(7)的输入端口相连；其特征在于所述的实时信号处理电路(7)：包括时序发生器(8)、斜坡信号发生器(9)、比较器(10)和采样保持器(11)；时序发生器(8)由复杂可编程逻辑器件和高频钟振组成，复杂可编程逻辑器件一组I/O接口与线阵型电荷耦合器件(6)相连，斜坡信号发生器(9)由先进先出器件和D/A器件组成，复杂可编程逻辑器件另一组I/O接口与先进先出器件输入端口相连，先进先出器件输出端口与D/A器件输入端口相连，D/A器件输出端口与采样保持器(11)的输入端口相连；比较器(10)的正相输入端口与线阵型电荷耦合器件(6)模拟信号输出端口相连，负相输入端口与参考电压相连，输出端口与采样保持器(11)的使能端口相连。